Шляхи підвищення ефективності контролю і управління плазмохімічними процесами
Ключові слова:
плазмохімічні процеси, мікроелектронна технологія, контроль, управління, сенсор-датчик, плазмохімічне травлення, контролерАнотація
Проаналізовано шляхи підвищення ефективності контролю і управління плазмохімічними процесами в мікроелектронній технології за рахунок впровадження нових підходів в реалізації контролю на основі сучасних досягнень в цій області, а також побудови систем управління в реальному часі, розробки сучасних контролерів на основі використання моделі процесу з використанням сучасних сенсорів в колі зворотного зв’язку, розробки нових типів контролерів управління.##submission.downloads##
-
PDF
Завантажень: 74
Переглядів анотації: 162
Опубліковано
2010-11-12
Як цитувати
[1]
Ю. С. Кравченко, В. С. Осадчук, і С. Ю. Кравченко, «Шляхи підвищення ефективності контролю і управління плазмохімічними процесами», Вісник ВПІ, вип. 6, с. 119–125, Листоп. 2010.
Номер
Розділ
Радіоелектроніка та радіоелектронне апаратобудування
Ліцензія
Автори, які публікуються у цьому журналі, згодні з такими умовами:
- Автори зберігають авторське право і надають журналу право першої публікації.
- Автори можуть укладати окремі, додаткові договірні угоди з неексклюзивного поширення опублікованої журналом версії статті (наприклад, розмістити її в інститутському репозиторії або опублікувати її в книзі), з визнанням її первісної публікації в цьому журналі.
- Авторам дозволяється і рекомендується розміщувати їхню роботу в Інтернеті (наприклад, в інституційних сховищах або на їхньому сайті) до і під час процесу подачі, оскільки це сприяє продуктивним обмінам, а також швидшому і ширшому цитуванню опублікованих робіт (див. вплив відкритого доступу).
