Multichannel recording system of the emission spectrum of nonequilibrium plasma
Keywords:
plasma-chemical etching, optical radiation, photoconverters, the registration system, the electrical circuit, microcontrollerAbstract
On the basis of the microcontroller RІS16F877A microprocessor system of registration of the emission spectrum of nonequilibrium plasma is designed to control plasma-chemical processes. The system allows simultaneous processing of data from four independent sources of information and visualize the target process of plasma etching of microstructures.References
1. Орликовский А. А. Диагностика in situ плазменных технологических процессов микроэлектроники : современное состояние и ближайшие перспективы. Часть IV / А. А. Орликовский, К. В. Руденко, Я. Н. Суханов // Микроэлектроника. — 2001. — Т. 30. — № 6. — С. 403 — 433.
2. Контроль процессов травления материалов в низкотемпературной газоразрядной плазме / [В. С. Данилин,
В. Ю. Киреев, В. А. Каплин, и др.] // Приборы и техника эксперимента. — 1982. — № 1. — С. 13—28.
3. Исследование и контроль плазмохимических процессов / [Н. К. Юдина, М. С. Чупахин, Э. А. Лебедев, Н. Н. Федоров] // Зарубежная электронная техника. — 1980. — Вып. 3 (223). — С. 3—54.
4. Даниленко О. О. Оптичний емісійно-спектральний контроль процесів травлення в низькотемпературній плазмі /
О. О.Даниленко, Ю. С. Кравченко, В. С. Осадчук // Оптико-електронні інформаційно-енергетичні технології. — 2005. —
№ 2 (10). — С. 173—180.
5. Пат. 26976 Україна, МПК H 01 L 21/302. Спосіб визначення моменту закінчення процесу плазмохімічного трав-лення / С. Ю. Кравченко, Ю. С. Кравченко, В. С. Осадчук, О. В. Осадчук. — 2007. — Бюл. № 16.
6. Диагностика плазмохимического травления SiO2 / Si и определение момента окончания травления / [Ю. П. Барышев, А. П. Ершов, К. Ш. Исаев и др.] // Микроэлектроника. — 1996. — Т. 25. — № 5. — С. 373—379.
7. Katzen S. Low cost PC-based quad channel real-time / storage oscilloscope / S. Katzen, C. Tuner // BEng (HONS) Electronic Systems, 2002. — 170 р.
8. Ульрих В. А. Микроконтроллеры PIC16C7X. Семейство восьмиразрядных КМОП микроконтроллеров с аналого-цифровым преобразователем / В. А. Ульрих. — СПб. : Наука и техника, 2000. — 253 с.
2. Контроль процессов травления материалов в низкотемпературной газоразрядной плазме / [В. С. Данилин,
В. Ю. Киреев, В. А. Каплин, и др.] // Приборы и техника эксперимента. — 1982. — № 1. — С. 13—28.
3. Исследование и контроль плазмохимических процессов / [Н. К. Юдина, М. С. Чупахин, Э. А. Лебедев, Н. Н. Федоров] // Зарубежная электронная техника. — 1980. — Вып. 3 (223). — С. 3—54.
4. Даниленко О. О. Оптичний емісійно-спектральний контроль процесів травлення в низькотемпературній плазмі /
О. О.Даниленко, Ю. С. Кравченко, В. С. Осадчук // Оптико-електронні інформаційно-енергетичні технології. — 2005. —
№ 2 (10). — С. 173—180.
5. Пат. 26976 Україна, МПК H 01 L 21/302. Спосіб визначення моменту закінчення процесу плазмохімічного трав-лення / С. Ю. Кравченко, Ю. С. Кравченко, В. С. Осадчук, О. В. Осадчук. — 2007. — Бюл. № 16.
6. Диагностика плазмохимического травления SiO2 / Si и определение момента окончания травления / [Ю. П. Барышев, А. П. Ершов, К. Ш. Исаев и др.] // Микроэлектроника. — 1996. — Т. 25. — № 5. — С. 373—379.
7. Katzen S. Low cost PC-based quad channel real-time / storage oscilloscope / S. Katzen, C. Tuner // BEng (HONS) Electronic Systems, 2002. — 170 р.
8. Ульрих В. А. Микроконтроллеры PIC16C7X. Семейство восьмиразрядных КМОП микроконтроллеров с аналого-цифровым преобразователем / В. А. Ульрих. — СПб. : Наука и техника, 2000. — 253 с.
Downloads
-
PDF (Українська)
Downloads: 34
Abstract views: 160
Published
2010-11-12
How to Cite
[1]
V. M. Bilylivskyi, S. Y. Kravchenko, Y. S. Kravchenko, and V. S. Osadchuk, “Multichannel recording system of the emission spectrum of nonequilibrium plasma”, Вісник ВПІ, no. 4, pp. 169–172, Nov. 2010.
Issue
Section
Radioelectronics and radioelectronic equipment manufacturing
License
Authors who publish with this journal agree to the following terms:
- Authors retain copyright and grant the journal right of first publication.
- Authors are able to enter into separate, additional contractual arrangements for the non-exclusive distribution of the journal's published version of the work (e.g., post it to an institutional repository or publish it in a book), with an acknowledgment of its initial publication in this journal.
- Authors are permitted and encouraged to post their work online (e.g., in institutional repositories or on their website) prior to and during the submission process, as it can lead to productive exchanges, as well as earlier and greater citation of published work (See The Effect of Open Access).
