МІКРОЕЛЕКТРОННИЙ ОПТИЧНИЙ ПЕРЕТВОРЮВАЧ ДЛЯ КОНТРОЛЮ ПЛАЗМОХІМІЧНИХ ПРОЦЕСІВ
Ключові слова:
мікроелектронний оптичний перетворювач, від’ємний диференційний опір, реактивні властивості транзисторних структурАнотація
Розроблено математичну модель мікроелектронного оптичного перетворювача, яка складається з біполярного та МДН-транзисторів та фоточутливого резистора, на основі якої отримано аналітичні залежності для функції перетворення та рівняння чутливості.Посилання
1. Таруи Ясуо. Основы технологии СБИС: пер.с япон. / Ясуо ТаруиЖ / под. ред. В. Г. Ржанова / — М. : Радио и связь, 1985. — 480 с.
2. Контроль процессов травления материалов в низкотемпературной газоразрядной плазме / [Данилин В. С.,
Киреев В. Ю., Каплин В. А., и др.] // Приборы и техника эксперимента. — 1980. — № 1. — С. 13—28.
3. Кравченко Ю. С. Шляхи підвищення ефективності контролю і управління плазмохімічними процесами / Юрій Степанович Кравченко, Володимир Степанович Осадчук, Сергій Юрійович Кравченко // Вісник Вінницького політехні-чного інституту. — 2007. — № 6. — С. 119—125
4. Александр Владимирович Осадчук. Фоточувствительные преобразователи на основе структур с отрицательным сопротивлением: монография / А. В. Осадчук — Винница: Континет, 1998. — 130 с.
5. Разевиг Всеволод Данилович. Применение программ P-CAD и Pspice для схемотехнического моделирования на ПЭВМ. Выпуск 2. Модели компонент аналоговых устройств / В. Д. Разевиг. — М. : Радио и связь, 1992. — 72 с.
2. Контроль процессов травления материалов в низкотемпературной газоразрядной плазме / [Данилин В. С.,
Киреев В. Ю., Каплин В. А., и др.] // Приборы и техника эксперимента. — 1980. — № 1. — С. 13—28.
3. Кравченко Ю. С. Шляхи підвищення ефективності контролю і управління плазмохімічними процесами / Юрій Степанович Кравченко, Володимир Степанович Осадчук, Сергій Юрійович Кравченко // Вісник Вінницького політехні-чного інституту. — 2007. — № 6. — С. 119—125
4. Александр Владимирович Осадчук. Фоточувствительные преобразователи на основе структур с отрицательным сопротивлением: монография / А. В. Осадчук — Винница: Континет, 1998. — 130 с.
5. Разевиг Всеволод Данилович. Применение программ P-CAD и Pspice для схемотехнического моделирования на ПЭВМ. Выпуск 2. Модели компонент аналоговых устройств / В. Д. Разевиг. — М. : Радио и связь, 1992. — 72 с.
##submission.downloads##
-
PDF
Завантажень: 27
Переглядів анотації: 172
Опубліковано
2010-11-12
Як цитувати
[1]
В. С. Осадчук, О. В. Осадчук, Ю. С. Кравченко, і О. О. Селецька, «МІКРОЕЛЕКТРОННИЙ ОПТИЧНИЙ ПЕРЕТВОРЮВАЧ ДЛЯ КОНТРОЛЮ ПЛАЗМОХІМІЧНИХ ПРОЦЕСІВ», Вісник ВПІ, вип. 5, с. 134–140, Листоп. 2010.
Номер
Розділ
Радіоелектроніка та радіоелектронне апаратобудування
Ліцензія
Автори, які публікуються у цьому журналі, згодні з такими умовами:
- Автори зберігають авторське право і надають журналу право першої публікації.
- Автори можуть укладати окремі, додаткові договірні угоди з неексклюзивного поширення опублікованої журналом версії статті (наприклад, розмістити її в інститутському репозиторії або опублікувати її в книзі), з визнанням її первісної публікації в цьому журналі.
- Авторам дозволяється і рекомендується розміщувати їхню роботу в Інтернеті (наприклад, в інституційних сховищах або на їхньому сайті) до і під час процесу подачі, оскільки це сприяє продуктивним обмінам, а також швидшому і ширшому цитуванню опублікованих робіт (див. вплив відкритого доступу).
